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    “中國芯”關鍵材料國產化

    2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷 (BNS)
    2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷 (BNS)
    • 中文名:2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷
    • 英文名:2,2,4,4-Tetrasilylpentasilane
    • CAS號:1668602-96-7
    • 純度:≥98.0%
    • 用途:在低溫通過化學氣相沉積(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
    • 規格:公斤級
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